优点: ■ 测量范围广:5 X 10 -7~1 Pa ■ 全金属冷阴极陶瓷传感器 ■ 新型几何电极提供了极好的点火性能 ■ 降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样 ■ 阳极环和钛阴极可清洗,更换容易 ■ **小磁场强度测量 ■ LED指示灯电源和等离子点火 ■ 对数模拟输出信号 ■ Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信